超聲波清洗機的QDR是怎樣實現的

一、噴灑清洗

超聲波清洗機上噴淋管路一共有雙路，產生互相交叉式噴灑，但去離子水不適合立即噴灑清洗晶圓表面，因晶圓在切溝作用下立即噴灑晶圓表面，易產生顆粒淤泥而環境污染晶圓表面，因而，在去離子水的噴灑環節中，必須對清洗壓力、水流量、方向和視角作出調整檢測，以達到顆粒環境污染少不錯實際效果。較好的噴頭所噴灑范疇包含所有晶圓及片盒；而不良噴灑清洗樣子，并沒有包含所有晶圓及片盒，沒被噴灑清洗的盲區地段，顆粒、殘渣及有機化學藥水殘余成分依然非常高，而無法達到較好的清洗實際效果。

二、鼓泡游泳清洗

上噴灑與此同時，下噴淋管路由器底端兩邊持續滲水，然后由內槽上沿四周外溢，那樣，每一個晶圓片縫、各個地方邊緣的去離子水都可以持續獲得升級。與此同時，純粹汽體（氫氣或空氣壓縮）自下噴淋管路進到干燥槽。鼓泡有以下幾個功效：

（1）增強了去離子水的侵蝕力，對干燥槽自身有非常好的自清洗功效；

（2）晶圓在流水中晃動，汽泡不可以沾附其上，提升了清洗實際效果；

（3）N2鼓泡降低去離子水里的氧氣含量，避免在晶圓表面形成金屬氧化物。

三、超聲波清洗

QDR增強了超聲波作用選擇項，與鼓泡游泳清洗更替功效，極大提升了清洗高效率，并進一步降低DI水使用量。最典型的運用方法是什么：上噴灑+排出→上噴灑+下滲水→超聲波+上噴灑+溢流式→鼓泡+上噴灑+溢流式→快排出

四、快沖快排

噴灑灌滿水時間與排水管道時長，對晶圓清洗品質有很大影響。因晶圓表面暴露在空氣中會觸碰空氣中的氧原子或水蒸氣，在常溫狀態，即會生長發育一層薄薄的氧化層（大約為0.5~1nm），這層當然金屬氧化物厚度與暴露在空氣中的時間長短有關系，因而，噴灑灌滿水時間越久，晶圓暴露在空氣中的時間也也就越長，因此所形成的氧化層也越厚，那對晶圓清洗，是很不利的。QDR排水管道的時間也越少，排水管道流動速度就會越大，有益于去離子水帶去晶圓表面里的顆粒殘渣。因而，在QDR設計里，要盡可能的減少噴灑灌滿水時間與排水管道時長，完成快沖滅火吹，總體高效率也會得到提升。超聲波的QDR滅火吹及灌水時長指標值為：引入時長：≤120秒，排出時長：≤12秒。